基于双曲色散负折射成像透镜的光刻方法研究
62005288
2020
F0513.微纳光子学
刘玲
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院光电技术研究所
24万元
双曲色散；负折射；平面透镜；亚波长成像；光刻
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