高端半导体封装装备二自由度控制器点到点运动稳态整定性能多因素耦合机理分析和智能细调控制
61973093
2019
F0308.智能制造自动化系统理论与技术
贺云波
面上项目
教授
广东工业大学
60万元
模糊优化；高端半导体封装装备；多因素耦合机理；二自由度控制器；智能细调控制
2020-01至2023-12
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