基于扫描隧道显微术的电化学微细加工机理和方法研究
69606003
1996
F0406.集成电路器件、制造与封装
章海军
青年科学基金项目
教授
浙江大学
8万元
电化学;隧道效应;微细加工
1997-01-01到1999-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 亚微米级毛细管微探针的制作及其应用 | 期刊论文 | 章海军|黄峰| |
| 2 | Electrochemical microprocess by scanning ion-couductance microscopy | 期刊论文 | Haijun Zhang|Lan Wu|Feng Huang| |
| 3 | 基于扫描离子电导显微术的电化学微细加工方法 | 期刊论文 | 章海军|黄峰| |
| 4 | Dual unit scanning tunneling microscope-atomic force microscope for length measurement based on reference scales. | 期刊论文 | Haijuu Zhang|Feng Huang|Toshiro Higuchi| |
| 5 | 基于离子电导的电化学微细加工方法及装置（授权发明专利ZL98104705.X） | 期刊论文 | 章海军|黄峰| |
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