面向28-14nm的高空间分辨率工艺偏差在线检测关键技术研究
61204111
2012
F0406.集成电路器件、制造与封装
张培勇
青年科学基金项目
副教授
浙江大学
24万元
在线检测;纳米尺度;高空间分辨率;工艺偏差
2013-01-01到2015-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 基于运行模式切换的低不匹配误差高动态范围CMOS智能温度传感器 | 期刊论文 | 单文焘|张培勇|冯忱晖| |
| 2 | Gate Capacitance Measurement Using a Self-Differential Charge-Based Capacitance Measurement Method | 期刊论文 | Zhang, Peiyong|Wan, Qing|Feng, Chenhui|Wang, Huiyan| |
| 3 | On-chip picosecond resolution timing measurement using time amplifier | 期刊论文 | Zhang, Peiyong|Feng, Chenhui|Wang, Huiyan| |
| 4 | Analysis and Characterization of Capacitance Variation Using Capacitance Measurement Array | 期刊论文 | Zhang, Peiyong|Feng, Chenhui|Wang, Huiyan|Shan, Wentao| |
| 5 | 可寻址测试芯片测试结构自动分配算法研究 | 期刊论文 | 邵康鹏|史峥|张培勇| |
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