激光捕捉微粒子实现微细加工的研究
60106005
2001
F0406.集成电路器件、制造与封装
白剑
青年科学基金项目
教授
浙江大学
6万元
激光捕捉.放射压.微细加工
2002-01-01到2002-12-31
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