纳米级立体图象复制刻蚀新技术的刻蚀剂的研究
29383004
1993
B0205.电化学
田昭武
专项基金项目
教授
厦门大学
15万元
材料;刻蚀;纳米加工
1994-01-01到1996-12-31
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