短沟道高可靠性EMMO型薄膜晶体管的研制

61971299
2019
F0122.物理电子学
张冬利
面上项目
副教授
苏州大学
59万元
薄膜晶体管;可靠性;短沟道;动态退化
2020-01至2023-12
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