高度择优取向氧化铟锡(ITO)薄膜的粉末靶材溅射制备及红外隐身性能调控

61540073
2015
F0504.红外与太赫兹物理及技术
朱归胜
应急管理项目
教授
桂林电子科技大学
7万元
ITO薄膜;高度择优取向;粉末靶材;射频磁控溅射;红外隐身
2016-01至2016-12
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