CVD单晶金刚石薄膜位错缺陷的选区调控方法研究
62004141
2020
F0401.半导体材料
吴改
青年科学基金项目
副研究员
武汉大学
24万元
金刚石薄膜；化学气相沉积；位错；图形化；调控
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