高性能ScAlN兰姆波谐振器关键技术研究
61974107
2019
F0407.微纳机电器件与控制系统
孙成亮
面上项目
教授
武汉大学
63万元
RF MEMS声波器件；兰姆波谐振器；第一性原理计算；机电耦合系数；品质因子
2020-01至2023-12
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