基于离子注入技术新型平面结构4H-SiC APD的研究
62004098
2020
F0403.半导体光电子器件与集成
周东
青年科学基金项目
工程师
南京大学
24万元
离子注入；碳化硅；平面雪崩光电探测器；雪崩击穿均匀性
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