基于离子束牺牲层抛光的超光滑表面中高频误差抑制机理和工艺研究
61308074
2013
F0508.应用光学
施春燕
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院光电技术研究所
28万元
牺牲层;中高频误差;去除机理;离子束抛光;
2014-01至2016-12
- 中英文摘要
- 结题摘要
- 结题报告
- 项目成果
- 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
未查询到项目成果
查看更多信息请先登录或注册
