高阶模式复合膜结构高频低损耗声表面波谐振器研究
62004222
2020
F0407.微纳机电器件与控制系统
王磊
青年科学基金项目
助理研究员
中国人民解放军国防科技大学
24万元
声表面波；高阶模式；复合膜；高频；低损耗
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