基于耐高温超薄压电单晶硅酸镓镧柔性无线无源多参数集成传感器的研究

61974037
2019
F0407.微纳机电器件与控制系统
骆季奎
面上项目
教授
杭州电子科技大学
60万元
温度传感器;声表面波;应力传感器;加速度传感器;振动传感器
2020-01至2023-12
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