硅基含铜铁电薄膜异质结集成研究

60876055
2008
F0404.半导体电子器件与集成
刘保亭
面上项目
教授
河北大学
33万元
铜工艺;硅基铁电器件;阻挡层;异质结;金属间化合物
2009-01-01到2011-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Influence of crystallinity on the oxidation resistance of Ni-Al film used as diffusion barrier layer 期刊论文
2 Enhanced dielectric constant and fatigue-resistance of PbZr0.4Ti0.6O3 capacitor with magnetic intermetallic FePt top electrode 期刊论文
3 Temperature dependence of rapid thermal annealed Ba0.6Sr0.4Ti03 thin film fabricated on platinized Si substate 期刊论文
4 磁控溅射沉积薄膜实验参数优化光谱诊断 期刊论文
5 氢对PbZr0.5Ti0.5O3在氮氢混合气氛退火中铁电性能的影响 期刊论文
6 Ultrathin amorphous Ni–Ti film as diffusion barrier for Cu interconnection 期刊论文
7 Roles of nanocrystal interfaces on L10 ordering phase transitions in FePt thin films 期刊论文
8 外延La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/La0.5Sr0.5CoO3铁电电容器的结构和物理性能 期刊论文
9 含Ni-Al阻挡层的硅基BiFe0.95Mn0.05O3铁电电容器的结构与物理性能 期刊论文
10 玻璃基Pt/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/ITO电容器的结构及物理性能研究 期刊论文
11 Barrier Performance of Various Thick Polycrystalline Ni–Al Films for Integrating PbZr0.4Ti0.6O3 Capacitors on Si 期刊论文
12 First-principle calculation of elastic compliance coefficients for BiFeO3 期刊论文
13 非晶Ni-Al阻挡层对快速退火制备的Ba0.6Sr0.4Ti03薄膜的结构及物性影响的研究 期刊论文
14 SrRuO3导电层对Pb(Zr,Ti)O3薄膜性能的影响研究 期刊论文
15 （001）高度择优取向Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt异质结的结构及性能 期刊论文
16 氮氢混合气氛退火中氢对Bi4Ti3O12铁电性能的影响 期刊论文
17 沉积位置对脉冲激光沉积纳米Si晶薄膜微观结构的影响 期刊论文
18 玻璃基LSCO/PZT/LSCO电容器的制备和铁电性能 期刊论文
19 Investigation of oxidation resistance of Ni-Ti film used as oxygen diffusion barrier layer 期刊论文
20 硅基BiFe0.95Mn0.05O3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/BiFe0.95Mn0.05O3 集成薄膜的结构与性能研究 期刊论文
21 沉积温度对磁控溅射BiFeO3薄膜结构和性能的影响 期刊论文
22 氮氢混合气氛退火中氢对Bi4Ti3O12铁电性能的影响 期刊论文
23 Simulation of hysteresis loops for polycrystalline ferroelectrics by an extensive Landau-type model 期刊论文
24 快速退火处理对Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt电容器结构和性能的影响 期刊论文
25 退火工艺对含Ti-Al阻挡层的硅基Pb(Zr0.4,Ti0.6)O3铁电电容器结构和性能影响的研究 期刊论文
26 含铜铁电电容器SrRuO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/SrRuO3/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO2/Si异质结的研究 期刊论文
27 Epitaxial SrRuO3/BiFeO3/SrRuO3 heterostructure sputtered at low temperature 期刊论文
28 非晶Ti-Al过渡层对Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt电容器结构和性能的影响 期刊论文
29 Electronic structure and optical properties of substitutional and interstitial phosphor-doped ZnO 期刊论文
30 Oxygen adsorption on Al (111) surface interstitial site calculated by density functional theory 期刊论文
31 用于铜互连阻挡层的磁控溅射法制备的Ti-Al薄膜研究 期刊论文
32 硅基集成电路中Cu互连阻挡层的研究 期刊论文
33 Oxygen vacancy as fatigue evidence of La0.5Sr0.5CoO3/PbZr0.4Ti0.6O3/La0.5Sr0.5CoO3 capacitor 期刊论文
34 Calculations of Hydrogen Diffusion in the Ti(0001)–(1 × 1) Surface by first principles 期刊论文
35 沉积温度对磁控溅射生长SrRuO3薄膜结构和性能的影响 期刊论文
36 脉冲激光沉积法制备的Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜漏电机理研究 期刊论文
37 非晶Ni-Al-N薄膜用作Cu互连阻挡层的研究 期刊论文
38 沉积温度对磁控溅射法制备的La0.5Sr0.5CoO3薄膜结构和输运性质的影响 期刊论文
39 Thermal – vacancy - assisted phase transition in FePt thin films 期刊论文
40 沉积温度对BiFeO3薄膜结构和性能的影响 期刊论文
41 Investigation of amorphous Ni–Al–N film as diffusion barrier between Cu and SiO2 期刊论文
42 快速退火对Ni-Al-O 栅介质结构和介电性能的影响 期刊论文
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