3英寸高质量氮化铝晶体PVT生长的研究
61974094
2019
F0401.半导体材料
武红磊
面上项目
教授
深圳大学
60万元
氮化物晶体；晶体生长；单晶衬底；III-V族半导体单晶；物理气相传输
2020-01至2023-12
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